| Prozeßtechnologie Fertigungsverfahren Für Integrierte MOS-Schaltungen | | | Assisted by:
| Bündgens, N.
Evelbauer, T.
Fehling, H.
Fock, J. -H.
Frick, J.
Schneider, R.
Strycharczyk, B.
Zimmermann, F. | | Author:
| Schumicki, Günter
Seegebrecht, Peter | | Series title: | Mikroelektronik Ser. | | ISBN: | 978-3-662-09540-9 | | Publication Date: | Apr 2013 | | Publisher: | Springer
| | Book Format: | Ebook | | List Price: | USD $44.99 |
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